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ETEL 高精度直线轴TBS系列
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产品: 浏览次数:16ETEL 高精度直线轴TBS系列 
品牌: ETEL
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最后更新: 2023-08-29 15:10
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详细信息
   TBS是高精度的单自由度直线轴。这款直线轴采用机械式轴承间接驱动,在同类产品中提供出类拔萃的精准性和精确性。此直线轴由高性能、小齿槽的伺服电机驱动,采用双编码器的反馈控制模式,不仅性能卓越,而且调试简单。*进的间接驱动控制以海德汉集团的编码器技术为核心,这款直线轴还为宏动和微动运动在全行程上提供卓越的机械性能。
  该直线轴还具有独特的设计特性和选配功能,例如隔热功能、高刚性和微米*的硬限位功能,可充分满足应用对制程可靠和安全的严格要求。
  该产品主要应用于半导体行业,也能满足众多不同行业的需求,满足对高精准度、高洁净度、高稳定性和高精确度的解决方案。
  该产品适用但不限于以下应用:圆晶工艺控制应用,例如Overlay测量,关键尺寸和薄膜测量及光电应用。
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